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2 空气应经过粗效、中效、高效过滤器三级处理；
3 阵列、彩膜、成盒厂房应设置备用新风处理机组； 4 阵列、彩膜、成盒厂房的电机与风机应采用直联驱动方式，且有良好的减振措施；
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薄膜晶体管液晶显示器厂房设施要求：
薄膜晶体管液晶显示器工厂设计应满足薄膜晶体管液晶显示器生产所需要超大空间洁净环境的要求。
生产的主要工序应完整、配套，阵列、彩膜和成盒工序段宜设置在同一厂区内。
净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》的有关规定外，还应符合下列规定：
1 温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统；
2 温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空调系统。
净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化处理，新风处理机组的设置应符合下列规定：
1 送风机应采取变频措施；
2 空气应经过粗效、中效、高效过滤器三级处理；
3 阵列、彩膜、成盒厂房应设置备用新风处理机组；
4 阵列、彩膜、成盒厂房的电机与风机应采用直联驱动方式，且有良好的减振措施；
5 新风的吸入口位置应远离排放有害物或可燃物的排气口；
6 加湿方式宜采用温水淋水室；
7 应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1％。
阵列、彩膜、成盒厂房净化空气调节系统的循环风宜采用风机过滤器机组和干冷却盘管处理，模组和背光源厂房净化空气调节系统的循环风宜采用循环空气处理机组处理。
干冷却盘管的设置应符合下列规定：
1 迎面风速不宜超过2．5m／s；
2 空气侧阻力不应大于40Pa；
3 布置在同一洁净室(区)内的干冷却盘管，在工作条件下空气侧阻力相差不得大于10％；
4 冷冻水的供水温度宜高于洁净室(区)内的露点温度；
5 干冷却盘管应设置排水系统，非落地安装的干冷却盘管应设置积水盘。
风机过滤器机组的设置应符合下列规定：
1 应根据空气洁净度等级和送风量选用；
2 宜采用直流调速电机；
3 机组应采取消音措施，消音装置不得采用产尘材料，且其燃烧性能等级应达到B级；
4 洁净度等级为7级～9级的洁净室(区)不宜采用聚四氟乙烯滤料的过滤器；
5 应便于安装、维修及过滤器更换。
当采用新风处理机组＋风机过滤器机组＋干冷却盘管的净化空调系统时，洁净区各部位的风速应符合下列规定：
1 上技术夹层不应大于4m／s；
2 下技术夹层不应大于3m／s；
3 回风夹道不应大于4m／s。
相关规范：
GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范
GB 51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范
GB 50073-2013 洁净厂房设计规范
GB 51110-2015 洁净厂房施工及质量验收规范
GB 50019-2015 工业建筑供暖通风与空气调节设计规范
GB 50243-2016通风与空调工程施工质量验收规范
GB 50016—2014（2018年版）建筑设计防火规范
