案例分享：液晶屏玻璃基板上线路结构的观察

随着电子产品的更新换代，显示屏的清晰度和色彩等要求越来越高。尤其手机更是如此， 每出一款新的手机，显示屏的对比度和光亮度、高速度等性能就会有一个质的飞跃。我们今天来看看 TFT-LCD 内部基板会是一个什么样的结构呢？

本文就某个 TFT-LCD 的玻璃基板，采用氩离子束进行截面切割，然后上扫描电镜观察截面线路的结构。

1、取样

玻璃基板一般是表面有一层膜，考虑到膜层非常的薄且软。制备的时候需要对其保护。 我们先从一片大的玻璃基板上取1cmX1cm的大小样块。可以采用玻璃刀裁剪。

2、树脂边缘保护

采用可快速固化的 AB 胶，混合均匀后涂覆在样品有膜层的一边。控制树脂的厚度不要超过 30um。然后放在加热台上 60 度保温，加速树脂的固化。大约 2 小时后树脂就已经完全固化，就可以进行下一步。

3、截面磨平

随意选取一个截面，放置在1000号的砂纸上进行截面磨平。如果条件允许，最好在磨抛机上进行磨平。研磨的过程中控制力道，注意不要把玻璃基板磨碎，膜层破损严重的情况发生。

4、离子束切割

磨平后，我们就可以上氩离子束进行切割。目的是把研磨残留的损伤采用离子束切割的方式去除。完整保留玻璃基板的内部结构。

5、电镜观察

可以看到玻璃基板上的膜层线路结构，每层的厚度和排列情况清晰可见。

放大1万倍后线路图

6、所用仪器：

徕卡三离子束切割仪 Leica EM TIC 3X

*来自徕卡显微系统合作代理商 广州领拓贸易有限公司的投稿

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