晶圆检测显微镜的特点与应用优势

01、进入检测领域的第一步
查看样品表面的更多信息，在更短的研究时间内改进产品质量决策。

• 宏观物镜（Plan APO 0.7x）4倍与常规扫描物镜的视野，用于快速浏览样品

• 紫外照明可获得更高分辨率，可与斜照明技术相结合，从任意角度以高分辨率查看样品，获得更多样品表面信息，且检验结果精确

• 符合人体工程学的设计和自动化功能可实现快速、低疲劳操作，避免在重复性样品检测过程中注意力不集中

• 通过手动、编码和电动功能支持智能工作流程，加快样品检测速度

02、快速样品详览

从用于快速浏览样本的微距物镜（Plan APO 0.7x）到用于观察最精细细节的微距物镜。

• 使用 25 mm (FOV) 目镜，可看到 35.7 毫米的样品表面

• 一目了然地看到在高倍放大镜下 "看不见 "的宏观缺陷，如材料样品中的曝光缺失区域、鲨鱼齿结构或流动结构

• 需要检测宏观结构时，无需对样品进行耗时的扫描

• 只需切换到更高倍率（Obj. HC PL APO 150x/0.90 IVIS BD）即可看到最细微的细节

03、在更短时间内获得更多样品表面信息

紫外照明可获得更高分辨率，可与斜照明技术相结合，获得更多样品表面信息。

• 以高倍率（150 倍）的彩色模式，通过明场、暗场或DIC模式检查样品，以发现样品缺陷

• 通过激活紫外线照明来提高光学分辨率，以观察最精细的结构

• 以高分辨率将对比度较低的表面转化为清晰的结构拓扑图，快速发现缺陷

 

04、通过智能功能支持工作流程

通过手动、编码和电动功能支持智能工作流程，加快样品检测速度。

• 只需点击一下按钮，即可根据所选方法自动调整照明和对比度设置，从而节省时间并避免出错

• 集成的 LED 可见光和紫外照明可在几秒钟内切换不同的照明技术，保证污染不会进入无尘间保持，确保洁净室的清洁

• 内置聚焦探测器，用于检测高反射表面，可快速、轻松地找到正确的聚焦位置

 

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