硅片模具使用注意事项

一、硅片模具出厂前已进行挥发处理。

二、硅片模具使用须在无尘环境下进行。

三、使用铲型镊子夹取为佳，避免模具边缘脏污，影响外观。

四、注意硅片任何操作下都需要要轻拿轻放，防止意外碎裂。

五、模具浇注PDMS前确认模具表面是否清洁，芯片结构是否完好。

六、模具不可使用有机溶剂清洗。

七、如硅片表面脏污，影响浇注；可用无尘布蘸取丙酮或乙醇小心进行擦拭，防止损坏；注意不可接触光刻胶图形。

八、PDMS混合时，需混合均匀且脱气之后再进行浇筑。

九、浇注PDMS时，尽量使硅片模具底面与浇注皿贴合较好，水平居中为佳。

十、PDMS浇注完，静置，待PDMS中气泡消失后再放入烘箱，保证水平；若静置后仍有气泡，可用针头小心挑去，避免划伤通道。

十一、PDMS完全成型后，取出，待冷却后再进行PDMS-模具分离，注意力度控制，小心剥离，剥离时，模具面保持清洁，不留指纹。

十二、模具使用完，将硅片模具放入硅片暂存盒内；保持清洁，不落灰尘。