电镜隔振方案

近日，我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜（STM）和扫描电镜(SEM)的隔振，经过HERZ AVI 200隔振后，STM和SEM方可正常运行，放大倍数达到20-30万倍，极大地提高了其图像的稳定性，客户对此深表满意。

HERZ的AVI 200主动隔振台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统，用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的性能，具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz，被动隔振频率>200Hz，其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中，主动检测输入振动并动态消除；允许自由选择整个系统的尺寸和配置，可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单，易操作，稳定性高，能无故障连续使用多年。

广州市固润光电科技有限公司