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CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列
英文名称:plasma cleaner总访问:465
国产/进口:国产半年访问:30
产地/品牌:CIF产品类别:超声波清洗
型       号:CPC-10/10M 最后更新:2025-2-21
货       号:
参考报价:165000
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销售商: 华仪行(北京)科技有限公司 查看该公司所有产品 >>
  • 产品介绍
  • 公司简介
  CIF推出全新一代 CPC-10系列实验室型等离子体清洗设备, 颠覆传统等离子体清洗设备设计理念。具有较大的腔体尺寸和有效样 品处理面积, 使用成本低, 性价比高, 处理快速高效, 特别适合于大学, 科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。

产品特点:
◆  7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20 个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆  PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆  石英真空舱,真空管路系统采用 316 不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆  采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
◆  HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆  60 度倾角操作界面设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
◆  顶置真空舱,上开盖设计,下压式铰链开关方式,开关盖方便。
◆  采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
◆  上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。
◆  有效清洗面积大,可清洗最大直径 8 吋硅片。
◆  安全保护,舱门打开,自动关闭电源。


技术参数:
型号 CPC-10 CPC-10plus CPC-10M CPC-10Mplus
射频电源 40KHz 13.56MHz 40KHz 13.56MHz
射频功率 0-600W 0-300W 0-600W 0-300W
匹配器 自动匹配 自动匹配
激发方式 电容式 电容式
气体控制 双浮子流量计 单路 MFC(可选两路)
舱体尺寸 L300xΦ215mm L300xΦ215mm
舱体容积 10.8L 10.8L
舱体材质 不锈钢 不锈钢
有效处理尺寸 L300xW215mm L300xW215mm
时间设定 9999 秒 9999 秒
真空泵 抽速 8m³/h 抽速 8m³/h
气体稳定时间 1 分钟 1 分钟
真空度 100pa 以内 100pa 以内
电   源 AC220V 50/60Hz  766/466W AC220V 50/60Hz  752/452W
产品尺寸 L645xW550xH495mm L645xW550xH495mm
包装尺寸 L750xW700xH720mm L750xW700xH720mm
整机重量 55kg 55kg
 
bio-equip.com
售后服务
CIF经过多年积累,拥有专业的销售、技术及服务人员、高效的企业管理平台、以及良好的商业信誉,服务于新老客户,用户满意是CIF人的第一目标。
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