半导体芯片缺陷检测设备

   该设备采用直线电机、音圈电机和伺服电机多轴混合控制，及缺陷识别软件配合，实现了
高速、高精度的分拣及缺陷检测和分类，效率时超过10000UPH。

海德星科技（厦门）有限公司是一家中美合资的高新技术企业。公司主要从事压电显微镜平台、精密定位产品、工业自动化设备的研发及产业化。
公司拥有一批国际级机械、机电、软件技术人才，同时与北京大学、哈尔滨工业大学、中科院长春光机所、美国ALIO、美国VAREDAN、瑞士OPTOTUNE等研究机构及企业有着良好的合作关系。
近年来，公司加大了在数字病理设备的投入力度，推出了压电显微镜平台、自动上片机、电动物镜转换器、快速自动对焦技术、图像拼接技术等产品和解决方案。标准产品可直接应用于蔡司、奥林巴斯、徕卡、尼康、麦克奥迪等品牌的显微镜，同时可根据客户需求提供定制服务。