Leica徕卡DM12000M全新的光学设计,可以提供宏观模式快速初检,以及倾斜紫外光路功能(OUV,倾斜紫外观察模式)不单提升了分辨率还提高了检查12英寸(300毫米)硅片的产能。
LED照明系统,工作环境更清晰由于LED照明集成到显微镜,显微镜周围的气流进行了优化。与传统的卤素灯照明相比,LED照明的热辐射大量减少。该显微镜在cleanromm气流的影响降到最低。最新一代的电源LED用于所有对比的方法,包括强度要求的DIC和DF以及可选的透射光。也是在观察紫外线LED的供电。
各角度的超高分辨率
全新的斜射紫外线模式结合了斜射照明和i谱线紫外线照明,从而实现了以3D或超高分辨率模式对样品各个角度进行快速简易的照明。
系统集成:完全匹配的组件
徕卡显微系统有限公司提供的LeicaDM12000M显微镜系统完美地全套集成了显微镜、摄像头和软件。该系统还可以进行升级以适应特别检验、查看软件选项、以及连接到若干品牌的晶片载入器上。
舒适环境
照明设备全部集成在显微镜支架中且便于控制,因此客户无须将眼睛和手移开显微镜即可调节至其它的观察方法或照明模式。检验系统配备独立的可调节抬高模块和聚焦手柄,从而适合所有用户使用。它的焦点寻像器、存储功能、以及内置照明器和相衬管理器使得操作更加简便,并且避免了错误的发生。
优化的视野
徕卡DM12000M金相显微镜光学检验显微镜集成的宏观模式使它们可以提供4倍于常规扫描物镜的视场。因此,用户可以对整个扫描区域进行精确的缺陷检测。
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