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等离子处理腔室 电镜样品清洁储存
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国产/进口:进口半年访问:27
产地/品牌:PIE产品类别:其它各类仪器
型       号:Multipurpose 最后更新:2025-2-21
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多用途等离子处理腔室_TEM & SEM样品清洁及贮存解决方案

通过选配外部附件如:EM-KLEEN远程控制等离子源和/TEM样品杆适配器,多用途腔室可配置成不同的应用。EM-KLEEN远程等离子体源可以采用空气、氧气或氢气产生氧和氢自由基,用于样品清洁和表面活化。如果腔室配备了TEM样品杆适配器,则可接受和清洁来自Thermo FisherJEOLHitachi的共六个TEM样品杆,然后它还可以用作样品杆真空储存站。当然,EM-KLEEN等离子源也可被取下并安装到SEMFIBXPS等真空腔室上。

 

Multipurpose_chamber_source_ONs.jpg

Multipurpose_Chamber_source+chamber_side_views.jpg

Multipurpose_Chamber_storage+sources.jpg

Multipurpose_Chamber_storages.jpg

 

真空泵:采用无油分子泵工作站或涡卷泵

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