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| 销售商： 天泽智能科技发展（天津）有限责任公司 | 查看该公司所有产品 >> |
离子溅射仪（磁控）
厂家：
型号：TZZN-1000
注明：本型号为磁控，与进口的差不多，适合客户放大倍数高，
此款TZZN-1000型小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜（如金膜）或材料镀膜，仪器性能稳定，操作简单方便。采用磁控冷态溅射，基本不升温，最大限度保护样品。
主要特点:
² 显示操作面为30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；
² 真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；
² 微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；
² 真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；
² 控制电路为控制板，工作稳定可靠；
² 显示控制操作部分布局合理，位于同侧，使用方便；
² 磁控冷态溅射，基本不升温，最大限度保护样品；
技术参数:
1.样品室空间：直径120mm×高110mm
2. Pt靶为标配，靶材尺寸：φ50mm×0.1mm
3.独立真空控制电路设计，实现真空度和溅射电流，安全互锁，可调最大电流40mA；
4.侵入式磁控低温离子源，可快速更换靶材，环绕暗区护罩；
5.使用独立计时控制器，精准计时，可调设置范围:1-500秒，连续可调
6.自动真空泄气功能，自动排气，可通过数字定时器进行控制
7.进口真空泵，抽速8.5m3/h，噪声不大于48dB,可置于抗震台上，全金属集成耦合系统
8.微型真空气阀：高精度微量流量阀，精度±0.1Pa
（参考外形，以实物为准）
选配无油真空系统
配件
耗材：真空泵油、靶材
厂家：
型号：TZZN-1000
注明：本型号为磁控，与进口的差不多，适合客户放大倍数高，
此款TZZN-1000型小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜（如金膜）或材料镀膜，仪器性能稳定，操作简单方便。采用磁控冷态溅射，基本不升温，最大限度保护样品。
主要特点:
² 显示操作面为30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；
² 真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；
² 微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；
² 真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；
² 控制电路为控制板，工作稳定可靠；
² 显示控制操作部分布局合理，位于同侧，使用方便；
² 磁控冷态溅射，基本不升温，最大限度保护样品；
技术参数:
1.样品室空间：直径120mm×高110mm
2. Pt靶为标配，靶材尺寸：φ50mm×0.1mm
3.独立真空控制电路设计，实现真空度和溅射电流，安全互锁，可调最大电流40mA；
4.侵入式磁控低温离子源，可快速更换靶材，环绕暗区护罩；
5.使用独立计时控制器，精准计时，可调设置范围:1-500秒，连续可调
6.自动真空泄气功能，自动排气，可通过数字定时器进行控制
7.进口真空泵，抽速8.5m3/h，噪声不大于48dB,可置于抗震台上，全金属集成耦合系统
8.微型真空气阀：高精度微量流量阀，精度±0.1Pa
（参考外形，以实物为准）
| 主要功能： |
电子在电场的作用下，飞向基片过程中与气体原子发生碰撞，使其电离产生出气体正离子和新的电子；新电子飞向基片，离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子借助于靶表面上形成的正交电磁场，被束缚在靶表面特定区域，增强电离效率，增加离子密度和能量，从而实现高速率溅射。
| 离子溅射仪性能指标及各系统组成 |
选配无油真空系统
配件
耗材：真空泵油、靶材
TZZN系列离子溅射镀膜仪，电镜耗材等
1.质保期限：期一年。
2.安装调试：上门安装调试（需协商）
3.热线应答：由专业工程师通过沟通、帮助、指导、解决、排除故障
现场服务
1.质保期限：期一年。
2.安装调试：上门安装调试（需协商）
3.热线应答：由专业工程师通过沟通、帮助、指导、解决、排除故障
现场服务
手机版：磁控离子溅射镀膜仪
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