YAMATO小型等离子清洗机等离子表面处理仪

雅马拓YAMATO小型等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510   
 
等离子清洁机 等离子表面处理仪
 
广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510，均匀性高的电极构造，操作简单的触摸屏控制器，适用于研究开发的小型等离子清洗机。
 
 
 
仪器特点：
DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）。
 
RIE模式。
 
均匀性高的电极构造。
 
操作简单的触摸屏控制器。
 
 

型号	PDC200	PDC210		PDC510
等离子模式	RIE（DP模式选配）
电极构造	平行平板（固定）
高频输出	Max300W	Max500W
频率	13.56MHz
反应腔尺寸	W400xD250Lx150mm			W500xD300Lx200mm
电极尺寸	W250xD170mm			W400xD200mm
反应室材质	2系统（Ar、O2）
填充气体	N2或干燥空气
反应气体流量控制	流量计	聚合控制器
真空泵	另行选配	油泵（约345L/分）标配		油泵（500L/分）标配
气体导入口	反应气体2个、填充气体1个
外形尺寸	W540xD600xH600mm		W540xD600xH600mm	W700xD700xH1285mm
重量	约100KG		约105KG	约180KG
电源	单相AC100V 10A		三相AC200V 6A	三相AC200V 8A

 
 
雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗机的信息，欢迎来电咨询。
 

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