CIF-RIE反应离子刻蚀机

CIF推出RIE反应离子刻蚀机，采用RIE反应离子诱导激发方式，实现对材料表面各向异性的微结构刻蚀。特别适合于大学，科研院所、微电子、半导体企业实验室进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀等方面研究。使用成本低，性价比高，易维护，处理快速高效。适用于所有的基材及复杂的几何构形进行RIE反应离子刻蚀。具体包括：

• 介电材料（SiO2、SiNx等）
• 硅基材料（Si，a-Si，poly Si）
• III-V材料（GaAs、InP、GaN等）
• 溅射金属（Au、Pt、Ti、Ta、W等）
• 类金刚石（DLC）

产品特点：
 PLC工控机控制整个清洗过程，全自动进行。
 7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化操作界面显示，自动监测工艺参数状态，0~99配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。
 手动、自动两种工作模式。
 全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
 采用防腐数字流量计控制，标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。
 具备HEPA高效过滤气体返填吹扫功能。

• 符合人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。
• 316不锈钢、航空铝真空仓选择。

 采用顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式。上置式360度水平取放样品设计，符合人体功能学，操作更方便。
 有效处理面积大，可处理最大直径200mm晶元硅片。

• 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。

技术参数

型号	RIE200	RIE200plus
舱体内尺寸	H38xΦ260mm	H38xΦ260mm
舱体容积	2L	2L
射频电源	40KHz	13.56MHz
电极	不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm	不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm
匹配器	自动匹配	自动匹配
刻蚀方式	RIE	RIE
射频功率	10-300W可调（可选10-1000W）	10-300W可调（可选10-600W）
气体控制	质量流量计（MFC）（标配双路，可选多路）流量范围0-500SCCM（可调）
工艺气体	Ar、N₂、O₂、H₂、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等（可选）
最大处理尺寸	≤Φ200mm
时间设定	1-99分59秒
真空泵	抽速约8m3/h
气体稳定时间	1分钟
极限真空	≤1Pa
电 源	AC220V 50-60Hz，所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

 
当等离子蚀刻应用涉及使用氧气作为工艺气体时，出于安全原因，强烈建议使用Edwards爱德华真空泵 RV3双级旋片泵或类似的合成油旋转机械泵。因为Edwards爱德华RV3双级旋片泵在泵科学应用方面已成为行业标准。当然，在需要避免使用油基旋转机械泵的地方，也可选择干式真空泵。
 

关于CIF
CIF 来源于美洲，服务于中国，是一家集实验室仪器设备研发、制造、销售、服务、产品应用为一体的专业化集团公司，在半导体材料表面处理技术和无机样品前处理技术领域为客户提供先进的、高品质的实验仪器设备和应用工艺解决方案。
CIF 中国总部坐落于北京国际企业孵化中心 (IBI)，系国家高新技术企业，公司具有自主进出口权，并已通过 ISO9001-2008 质量管理体系认证，全系列产品通过CE认证。
CIF 自成立以来，始终坚持以科技创新和发展为宗旨，发扬“诚信、务实、协作、共赢”的企业精神 ,  为包括我们的股东、员工、客户乃至商业伙伴在内的所有人提供创造和实现他们美好梦想的机会！
CIF目前主要生产产品
半导体材料表面处理仪器：等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机。
无机样品前处理通用仪器：亚沸酸蒸清洗器、真空赶酸系统、酸纯化器、智能消解仪、恒温电热板、实验室废液收集系统。
CIF发展历程
2006年，CIF在美国加州洛杉矶注册成立赛福国际集团有限公司（CIF International Group Co.,Ltd）。最初是一家面向大学研究所销售仪器设备的供应商。
2008年，CIF自主研发生产石墨电热板以来，先后研发生产全自动酸蒸逆流清洗器、酸纯化器、智能消解仪等前处理仪器设备。
2010年，CIF经过多年不懈努力，掌握了等离子核心技术--等离子激发电源，自主研发生产材料表面处理仪器设备等离子清洗机。
2014年，CIF在中国注册成立华仪行（北京）科技有限公司，正式进入中国市场拓展业务，主要负责仪器设备在中国市场的宣传、推广、销售、产品应用及服务工作。
2015年，CIF自主研发生产专为处理粉体样品而设计转瓶等离子清洗机。
2016年，CIF自主研发生产真空赶酸系统。
2017年，CIF自主研发生产材料表面清洗设备，紫外臭氧清洗机（UVO）。
2018年， CIF 在中国建厂设立独资子公司---赛福仪器承德有限公司（CIF Instruments Chengde Co., Ltd）(以下简称CIF Scientific)，部分研发制造业务移至中国，并增加实验室氟材料耗材的加工定制业务，目地是让实验室都用上最实惠的耗材。
2019年，CIF自主研发生产匀胶机及电镜(SEM, FIB and TEM) 专用等离子清洗机等仪器设备。
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