CIF 推出的中试生产型等离子清洗机是为研发型客户和工业级客 户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富, 且真空腔体里可分层, 适合大多数生产场景清洗,活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下 稳定运行,产品性能稳定,样品处理重复性、一致性好。
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动监测工艺参数状态,20 个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据。
◆ PLC 工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆ 采用质量流量计, 气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统, 可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、 四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
◆ 采用多孔道进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
◆ HEPA 高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆ 316 不锈钢真空舱,洁净无污染。
◆ 全真空管路系统采用 316 不锈钢材质。
◆ 处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。
◆ 合理的结构设计,设备占用空间小。
◆ 可处理各种材质、形状、尺寸样品。
◆ 样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
◆ 使用成本低、耗损小。
◆ 产品性能稳定,安装维护,简单方便。
◆ 安全保护,舱门打开,自动关闭电源。
◆ 机器运行、停止提示。
技术参数
型号 |
CPC15 |
CPC35 |
CPC80 |
CPC120 |
CPC150 |
舱体尺寸 |
W240xH240
xD260mm |
W320xH320
xD350mm |
W420xH400
xD500mm |
W500xH500
xD450mm |
W500xH500
xD600mm |
舱体容积 |
15L |
35L |
80L |
120L |
150L |
舱体材质 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
有效尺寸 |
W240xD230mm |
W320xD323mm |
W420xD468mm |
W500xxD420mm |
W500xxD565mm |
电极分布 |
2 层 |
3-4 层 |
6 层 |
8-10 层 |
10-15 层 |
射频电源 |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
射频功率 |
0-300W |
0-300W |
0-600W |
0-1000W |
0-1000W |
匹配器 |
自动匹配器 |
激发方式 |
电容式 |
电流 |
1.2A |
时间设定 |
9999 秒 |
气体稳定 时间 |
1 分钟 |
真空度 |
100pa 以内 |
控制系统 |
7 寸 PLC 触摸屏控制 |
工艺气体 |
2 气路 MFC (可选装 3 路) |
产品尺寸 |
L625xW600
xH760mm |
L625xW600
xH805mm |
L905xW845
xH1940mm |
L625xW600
xH760mm |
L905xW845
xH2010mm |
包装尺寸 |
L740xW775
xH1000mm |
L740xW775
xH1045mm |
L1015xW1065 xH2050mm |
L1015xW1065 xH2120mm |
L1015xW1065 xH2120mm |
真空泵 |
抽速约 8m³/h |
抽速 16m³/h |
抽速 40m³/h |
抽速 60m³/h |
抽速约 60m³/h |
电源 |
AC220V
50/60Hz 552W |
AC220V
50/60Hz 552W |
AC380V
50/60Hz 902W |
AC380V
50/60Hz 1302W |
AC380V
50/60Hz 1302W |
整机重量 |
108kg |
135kg |
465kg |
485kg |
575kg |
bio-equip.com
关于CIF
CIF 来源于美洲,服务于中国,是一家集实验室仪器设备研发、制造、销售、服务、产品应用为一体的专业化集团公司,在半导体材料表面处理技术和无机样品前处理技术领域为客户提供先进的、高品质的实验仪器设备和应用工艺解决方案。
CIF 中国总部坐落于北京国际企业孵化中心 (IBI),系国家高新技术企业,公司具有自主进出口权,并已通过 ISO9001-2008 质量管理体系认证,全系列产品通过CE认证。
CIF 自成立以来,始终坚持以科技创新和发展为宗旨,发扬“诚信、务实、协作、共赢”的企业精神 , 为包括我们的股东、员工、客户乃至商业伙伴在内的所有人提供创造和实现他们美好梦想的机会!
CIF目前主要生产产品
半导体材料表面处理仪器:等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机。
无机样品前处理通用仪器:亚沸酸蒸清洗器、真空赶酸系统、酸纯化器、智能消解仪、恒温电热板、实验室废液收集系统。
CIF发展历程
2006年,CIF在美国加州洛杉矶注册成立赛福国际集团有限公司(CIF International Group Co.,Ltd)。最初是一家面向大学研究所销售仪器设备的供应商。
2008年,CIF自主研发生产石墨电热板以来,先后研发生产全自动酸蒸逆流清洗器、酸纯化器、智能消解仪等前处理仪器设备。
2010年,CIF经过多年不懈努力,掌握了等离子核心技术--等离子激发电源,自主研发生产材料表面处理仪器设备等离子清洗机。
2014年,CIF在中国注册成立华仪行(北京)科技有限公司,正式进入中国市场拓展业务,主要负责仪器设备在中国市场的宣传、推广、销售、产品应用及服务工作。
2015年,CIF自主研发生产专为处理粉体样品而设计转瓶等离子清洗机。
2016年,CIF自主研发生产真空赶酸系统。
2017年,CIF自主研发生产材料表面清洗设备,紫外臭氧清洗机(UVO)。
2018年, CIF 在中国建厂设立独资子公司---赛福仪器承德有限公司(CIF Instruments Chengde Co., Ltd)(以下简称CIF Scientific),部分研发制造业务移至中国,并增加实验室氟材料耗材的加工定制业务,目地是让实验室都用上最实惠的耗材。
2019年,CIF自主研发生产匀胶机及电镜(SEM, FIB and TEM) 专用等离子清洗机等仪器设备。
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