OPTM series 嵌入型

产品信息
 特　点

●膜厚测量范围1nm～92μm（换算为SiO2）

●膜厚值高重复精度

●1点1秒以内的高速测量

●最小小点Φ3μm）中瞄准模式

●最适合图案晶片的膜厚映射

●能够取得图案对准用图像

 

装置组装示意图

 

测量数据示意图

 

测量光点周边图像

 

适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺等

式样

上海波铭科学仪器有限公司成立于2013年，是一家专业从事科学仪器研发、生产、 销售于一体的高科技技术企业。公司主要服务于全国各大高校、科研院所和高尖端工 业客户。主要提供光学仪器如光栅光谱仪、荧光光谱仪，膜厚测量仪，探测器响应分 析仪、太阳能电池量子效率测试系统等科研实验室仪器；及光学机械加工设计，电子 测量等专业的解决方案服务。公司以“专注质量、用心服务”为核心价值。希望通过 我们的专业水平和不懈努力，力争为中国的科研及精密制造事业贡献一股力量。 上海波铭科学仪器公司为美国理波公司（Newport）、日本大塚（Otsukael）正 式代理商。配有专业光学技术人员，专注于光学仪器市场的开发和应用，已经为复旦 大学、上海交通大学、上海科技大学、南京大学、中国科技大学、北京大学、清华大 学、联影医疗、思特威电子等用户提供专业的服务。 公司成立多年来，我们一直秉承以用户需求为核心，在专注光学等核心技术市场的 同时，已经为超过一百家高校科研院所和企业提供了成套和部分的解决方案服务。优 质、用心的服务赢得了众多用户的信赖和好评。公司不仅仅提供专业的光学解决方案 服务，同时还建立了完善的售后服务体系。我们相信，通过我们的不断努力和追求， 一定能够实现与高校、企业、科研院所的互利共赢！