半自动探针台-晶圆测试探针台-半导体探针台

  半自动探针台-晶圆测试探针台-半导体探针台-PS4L半自动探针台采用了 SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life (PS4L)可适应性模块化结构设计，提供了无与伦比的灵活性并大大地节省了设备资金和费用。与传统的探针台相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探针台中所有的基础模块-基座，卡盘支架，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等都是可以更换的，使得 PS4L 系列探针台以其极大的灵活性和性价比满足了多种应用需求，为客户提供了非常经济适用以及完美的解决方案。更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L 也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最少的费用完成测试。



PILOT控制软件：

SemiProb的半自动探针系统使用 SemiProbe 的 PILOT 控制软件包进行操作，软件和 PS4L 硬件一样采用的是SemiProbe 独家专利技术 Probe System for Life(PS4L)可适应性结构化设计。PILOT 软件包是一款模块化最明显、最直观且易操作的软件。在不改变核心控制软件的前提上，客户可增添控制模块来增加额外的功能和附件。其一般的功能比如2点校准，功能强大且易操作——甚至不经常操作设备的用户也非常容易上手。
 
 
产品特点：
 

• 可灵活改变测试尺寸
• 半自动测试，节省测试时间
• 可升级为全自动探针系统
• 模块化设计，可以更换关键部件
• 结构简洁，方便操作

 
应用范围：
 

• 光伏工业
• 材料科学
• 光电行业
• 失效分析
• 通信器件测试
• 微机电技术

 
 
技术参数（型号：PS4L SA-4）：
 
产品尺寸：900 mm x 650 mm x 750 mm
重量：80Kg
输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
真空:23 Hg or -0.8 bar
卡盘X-Y轴轨道：NEMA 17步进电机，光学线性编码器
行程:105*105mm
                速度：50mm/s(最大)
平面性:±6μm
分辨率:0.1μm
重复性：±0.5μm
精度：±3um
卡盘Z轴轨道：行程：15mm
分辨率：0.5μm
              重复性：±1.5μm
θ移动：行程：±4°（可定制）
        分辨率:0.0008°
卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等
压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
360度机械手放置
压盘位移：可选择固定和线性调节
          线性调节范围：40mm粗调，200um微调

可选配件：
包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。
 




                                         半自动探针台-晶圆测试探针台-半导体探针台-PS4L
 

广州市固润光电科技有限公司是一家成立于2011年从事光电子高科技产品研发、生产及销售的高新技术企业，2017年通过国家高新企业认证，主要面向国内外著名光电子企业以及国内各顶级高校、科研院所提供优质的产品和专业的项目服务。产品种类涉及主动隔振台，隔音箱，主动消磁器，光谱辐射计，成像亮度计，JUST灯箱，超短脉冲测量仪，FORG.

我司坚持"诚信为本，创新为先"的企业精神，深化技术创新，不断超越，注重团队建设，努力把公司建设成为国际一流的光电子产品提供企业。固润光电以技术为轴心导向，通过与国内外知名厂商合作，积极开拓光电子领域市场，已经取得广大客户的充分认可。我司有一支以硕士为核心的研发队伍， 引进、改造国外先进的技术，为国内的企业与科研单位提供国际技术领先的“固润”方案。

自成立以来，我司已取得了多项专利授权，我司紧紧依靠科技创新、自主研发、技术进步推动企业可持续发展，不断提升产品的科技含量、附加值和市场占有率。我司设置有专门的产品技术研究中心，拥有一支高素质的技术研发团队以及先进的仪器设备，保持对行业产品的高度敏锐度和观察力，稳步推进光电产品的开发创新，不断提升企业的核心竞争力和持续发展的能力。

我司将更加重视技术创新，服务创新、管理创新，依靠高新技术、规范经营、科学化管理提高企业抗风险能力，从而进一步提升企业市场核心竞争力，打造固润新辉煌。