手动探针台-真空探针台-高低温探针台

更重要的是，PS4L的模块化结构设计，可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级，由手动探针台升级为半自动探针台，半自动探针台升级为全自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12”，增加密闭测试仓，增加高低温等，以满足用户新的要求。这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时，PS4L也无需重新更换新的平台，便可用最短的时效和最经济的费用完成有效的测试。
 
产品特点：
 

• 可灵活改变测试尺寸
• 模块化设计，可更换关键部件
• 系统可在客户现场升级
• 可升级为半自动探针台，或者6”升级为8”，8”升级为12” 
• 结构简洁，方便操作

 
 
应用范围：
 

• 光伏工业
• 材料科学
• 光电行业
• 失效分析
• 通信器件测试
• 微机电技术
• 半导体

 
 
技术参数（型号：PS4L M-12）：
 
产品尺寸：1200mm * 650mm * 900mm
重量：110Kg
输入电压：110/220V 50/60Hz,20A
真空:23 Hg or -0.8 bar
卡盘X-Y轴轨道：行程:＞300mm粗调，25mm微调(可定制)
平面性:±7.5μm
分辨率:5μm
支架类型：快速对准（标配）、同轴/可编程（选配）
卡盘Z轴轨道：行程：＞20mm              
θ移动：可转角度：360°粗调，>10°微调
卡盘类型：真空或机械夹紧，圆形或方形，三轴，高频，高压/高电流，高低温等
平面性:5μm
压盘：铝和不锈钢顶部，可拆卸前楔
360度机械手放置
机械手固定：磁性(标准)，真空(可选配真空歧管工具包)
压盘位移：可选择固定和线性调节
          线性调节范围：40mm粗调，200um微调
显微镜：立体变焦、变焦或复式显微镜
显微镜安装/移动：可选吊杆、立柱或桥架安装；可手动或通过程控移动

可选配件：
包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座， 探针，激光，光学部件，CCTV 系统，隔振台，暗箱。
 

 
 

广州市固润光电科技有限公司是一家成立于2011年从事光电子高科技产品研发、生产及销售的高新技术企业，2017年通过国家高新企业认证，主要面向国内外著名光电子企业以及国内各顶级高校、科研院所提供优质的产品和专业的项目服务。产品种类涉及主动隔振台，隔音箱，主动消磁器，光谱辐射计，成像亮度计，JUST灯箱，超短脉冲测量仪，FORG.

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