蔡司氦离子显微镜 ORION NanoFab

  [ 产品简介 ]
蔡司氦离子显微镜ORION NanoFab可以实现高效、高精度的纳米级结构加工与成像，是集镓、氖、氦三种离子束为一体的成像加工平台，覆盖了微米到纳米尺度的成像加工应用。0.5nm的成像分辨率，使得其作为加工仪器的同时依然也可实现高分辨率成像。电荷补偿技术令其在不导电样品成像中更胜一筹。其高精度加工与高分辨率成像能力能够满足材料科学、生命科学等各个领域的研发与检测需求。
 
[ 产品特点 ]

• 10nm以下的结构加工
• 使用氦、氖惰性气体作为离子源避免镓离子注入
• 束斑尺寸小，成像分辨率可达0.5 nm
• 景深大

[ 应用领域 ]

• 光子学，如光刻，表面等离子体光学
• 材料科学，如离子束诱导沉积
• 石油地质行业，如油气、页岩成像
• 电子半导体行业，如失效分析、电路修补
• 生命科学，如DNA测序  

 

镓、氖、氦离子在金膜上加工等离子双领结构		氦离子磨蚀技术在石墨烯上加工悬浮纳米带
氦离子束诱发沉积技术加工铂纳米柱阵列		氖离子束在300nm厚的电介质上溅射出矩形孔

关于蔡司
蔡司是全球光学和光电领域的先锋。蔡司致力于开发、生产和行销测量技术、显微镜、医疗技术、眼镜片、相机与摄影镜头、望远镜和半导体制造设备。凭借其解决方案，蔡司不断推动光学事业的发展，并促进了技术进步。公司共有四大业务部门：工业质量与研究、医疗技术、视力保健/消费光学和半导体制造技术。蔡司集团在40多个国家/地区拥有30多座工厂、50多个销售与服务机构以及约25个研发机构。
 
全球约27,000名员工在2016/2017财年创造了约53亿欧元的业绩。公司于1846年在耶拿成立，总部位于德国奥伯科亨。卡尔蔡司股份公司是负责蔡司集团战略管理的控股公司。公司由Carl Zeiss Stiftung（卡尔蔡司基金会）全资所有。
 

蔡司研究显微镜解决方案
蔡司研究显微镜解决方案是光学、电子、X射线和离子显微镜系统的一站式制造商，并提供相关显微镜的解决方案。产品组合包括生命科学和材料研究以及工业，教育和临床实践有关的产品和服务。该部门的总部设立在耶拿。其他生产和开发基地位于奥伯科亨，哥廷根和慕尼黑，以及英国剑桥、美国马萨诸塞州皮博迪和美国加利福尼亚州普莱森顿。蔡司研究显微镜解决方案属于工业质量和研究部门。部门约6,300名员工在2016/2017财年创造了总额达15亿欧元的业绩。