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精确度 (未标定) 精确度 (已标定) 重复性 基础设备孔径 扩束器孔径 相机分辨率 变焦镜头 采集模式 激光类型 波长* 输出功率≥ 束偏振 |
0.01 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.004 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.001λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 25.4mm 直径 101.6mm 直径 640 x 512 像素 1X to 6X 相移 HeNe 3.39 μm、10.6um 2 mW 线性 |
包装尺寸 系统光轴高度 激光安全等级 重量 分析软件 |
744mm x 407mm x 275mm 115mm CDRH IIIb激光产品3B类 60 lbs (主机) ESDI Intelliwave LE-2 or Apre Reveal |
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