小型等离子体(Plasma)
技术特点:
1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用、防腐容易清洁。
2.仪器实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式,方便用户实验
3.仪器实现了程序化设计,预先编辑好程序,仪器可以自动完成实验
4.无需任何耗材使用成本低,无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
5.电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染
7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠,具有自动保护功能。
8.灵活的参数设置和修改功能,可适应多种处理工艺。
9.采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。
10. LED+金属按键控制方式,操作方便稳定可靠。
技术规格参数
型号:YZD08-2C |
品牌:赛奥特(SAT) |
|
不锈钢/石英舱体 |
Φ100 mm×L255mm |
工作气路 |
壹路,可以选配MFC控制 |
射频频率 |
40KHz |
射频功率 |
0-200W可调 |
控制系统 |
按钮+单排LED显示,实时显示和检测舱内真空度值 |
时间范围 |
0—99分59秒连续可调 |
工作压力 |
样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节,自动模式启动真空值可以自由设定,范围:20--80帕 |
工作气体 |
空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可 |
进气压力 |
空气:常压 连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa |
工作模式 |
手动模式和程序化自动模式 |
真空泵 |
抽速:1升到5升每秒 |
输入电源 |
~220V/50Hz |
整机尺寸(D*W*H) |
520X460X253mm |
重量(约) |
20Kg |
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赛奥特(北京)科技有限公司总部设在中国北京,是一家专业的生产研发销售为一体的高新企业,以研发生产销售等离子清洗系统为主,其前身为唐山燕赵研究院,由于业务的发展需要,自2014年08月01日全面接管唐山燕赵研究的等离子清系统的研发生产和销售。
自成立以来在广大用户的帮助与支持下,经不懈努力已成为中国材料学电子半导体LED等领域的专业供应商,其产品遍布全国的各个高校研究所企业等,是等离子体领域产品的主要供应商之一,本公司希望为您提供更好的产品,更多的便利及更专业的服务,为您的成功铺桥搭路!
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