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销售商: 微科(武汉)精密仪器有限公司 | 查看该公司所有产品 >> |
附件 | 电极夹持器 | |
液压管长度 | 1.5m | |
移动范围 | 微调 | 行程10mm 旋转一周步进 500µm 刻度准确度 2µm |
尺寸/重量 | 控制部件 | W70 × D115 × H100mm, 1.15kg |
驱动部件 | W30 × D20 × H125mm, 50g |
附件 | 腔室(MO-903E) 室盖 不锈钢导管(ø0.7× 60mm) 螺纹圆钢 固定螺钉 垫片 |
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油压管长度 | 1.5m | |
移动范围 | 粗调 | Z50mm |
微调 | X13mm, Y18mm | |
Z30mm 旋转一圈步进: 500µm 刻度分辨率: 2µm |
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尺寸/重量 | 控制单元 | W70 × D115 × H100mm, 1.15kg |
驱动单元 | W61 × D46 × H130mm, 96g |
附件 | 腔室(MO-903E) 室盖 不锈钢导管(ø0.7× 60mm) 螺纹圆钢 连接电缆(2.9m) 电源线(2.5米) 备用保险丝(保险丝座内部) |
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油压管长度 | 1.5m | |
驱动源 | 5相步进电机 | |
移动范围 | 粗调 | Z50mm |
微调 | X18mm Y18mm Z30mm (电机驱动) |
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设置范围 | 速度范围 | 0.1µm/s ~ 500µm/s (0.1µm/s 增量分辨率) |
距离范围 | 1µm ~ 30000µm (1µm 增量分辨率) | |
时间范围 | 1s ~ 60min (0.1s 增量分辨率) | |
电源 | AC100V ~ 240V, 50/60Hz | |
功率 | 15W | |
尺寸/重量 | 驱动单元 | W61 × D46 × H130mm, 125g |
电机驱动 | W98 × D32 × H56mm, 大约 250g | |
控制单元 | W180 × D260 × H95mm, 2.5kg |