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产品介绍
大小1英寸到4英寸不等，厚度0.2mm、0.4mm、1mm、1.2mm等不同厚度，单面抛光。
规格参数
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参数类型 |
Si技术指标 |
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产品尺寸 |
1-4英寸 |
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生长方法 |
直拉单晶（Cz） |
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表面抛光 |
单面抛光 |
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直径公差 |
100.2±0.3mm |
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掺杂类型 |
掺杂剂（磷或硼） |
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晶体取向 |
100 111 |
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电阻率Ω |
＜0.0015 Ω.cm 0.001-0.5Ω.cm 1-10Ω.cm |
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平整度TIR |
＜3um |
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翘曲度TTV |
＜10um |
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弯曲度BOW |
＜10um |
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抛光粗糙度Ra |
＜0.5nm |
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颗粒度Pewaferr |
＜（for size＞0.3um） |
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厚度um |
请咨询 |
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用途 |
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手机版：抛光硅片
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