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H116精密电动显微镜载物台/晶圆检测载物台
英文名称:Precision Motorised Stage / Microscopy Stage总访问:1447
国产/进口:进口半年访问:14
产地/品牌:英国/Prior Scientific产品类别:显微镜附件/滤光片
型       号:H116 最后更新:2025-2-22
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  • 产品介绍
  • 公司简介
H116精密电动显微镜载物台的行程超过215×216mm,完美兼容大多数正置显微镜。其能够轻松容纳直径达200mm的晶圆 或重达25kg的样品。H116载物台的精确度极高,最小步长为0.04μm,重复精度+/-0.7μmH116载物台精度的提高得益于Prior专利的智能扫描技术(IST)。同时,通过增加100nm编码器,其精度可进一步提高,以应对更高精确度要求的挑战性应用。
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