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H112精密电动显微镜载物台/晶圆检测载物台
英文名称:Precision Motorised Stage / Microscopy Stage总访问:1395
国产/进口:进口半年访问:18
产地/品牌:英国/Prior Scientific产品类别:显微镜附件/滤光片
型       号:H112 最后更新:2025-2-22
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  • 产品介绍
  • 公司简介
H112精密电动显微镜载物台可提供300×300 mm的行程,完美兼容大多数显微镜。H112能够轻松容纳直径达12英寸(300mm)的晶圆,或重达25kg的样品,并与多种晶圆装载机械臂联用。此外,宽广的透光区允许透射光和反射光的应用。H112载物台还拥有宽广、精准的扫描区,最小步长达0.04μm,重复精度+/-0.7μmH112载物台精度的提高得益于Prior专利的智能扫描技术(IST)。同时,通过增加100nm编码器,其精度可进一步提高,以应对更高精确度要求的挑战性应用。
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