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显微操纵仪---MM3A
纳米显微操纵仪MM3A以其高精度、超灵活、易操作、小体积、无偏移成为电镜的“双手”。系统驱动全部由压电陶瓷来实现,由此保证了纳米级的移动精度和厘米级的移动范围。相对于传统的显微操纵仪而言,MM3A长度仅为60mm,重约45g,这种设计保证了系统的稳定性并降低了系统噪音水平,震动几乎对MM3A不产生影响,并且很容易地放入电子显微镜腔室内。目前已广泛用于与纳米科技,半导体检测,生命科学等各个领域。
技术特点:
更紧凑、更灵活
小而实用(长度仅为60mm,重约45g)
即插即用的插头组件
丰富的SEM和FIB接口
快速安装和拆卸
兼容性极高的转接组件
更清晰、更简单
直观的控制界面和软件
操控人性化,易于学习
快速并容易的更换组件
紧凑的,独立的电子组件
多个系统灵活轻松操控
更强大、更稳定
优异的稳定性
低漂移(1 nm /min)
运行可靠(一年的耐力测试)
超高真空,液氮77K 和液氦4K
手动快速预定位置
更快、更精确
高运行速度(可达1cm/s)
亚纳米分辨率(0.25 nm)
广泛的工作范围(100cm³)
两种驱动位移模式