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18年专注等离子表面改性设备
英文名称:总访问:2996
国产/进口:国产半年访问:19
产地/品牌:戈德尔产品类别:其它各类仪器
型       号:GDR-30PR/M 最后更新:2024-11-17
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销售商: 招远普斯玛等离子技术有限公司 查看该公司所有产品 >>
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  • 公司简介

等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机

等离子清洗-等离子处理-等离子刻蚀-等离子去胶-等离子活化- 等离子表面处理 

本公司有多名经验丰富的技术人员,先进的生产设备,可根据您的生产需求制作各类非标等离子清洗机,欢迎来本公司实地考察,货比三家

 ◆ 外形尺寸

 570(W)×420(D)×740(H)mm  

  ◆ 仓体结构(合金铝,约30升) 

 290(W)×290(H)×360(D)mm

  ◆ 电极面积 

 250(W) ×300(D) mm,5层  

  ◆ 清洗模式 

 RIE or PE模式转换  

  ◆ 等离子发生器(台湾KM) 

 频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

 可选择40KHZ中频等离子发生器(0-500W) 

  ◆ 控制系统 

 触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件,

 性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

  ◆ 真空系统 

 德国莱宝(Leybold)真空泵   D30C (37m3/h)

 进口气动角阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器

  ◆ 压力控制 

  PID闭环自动稳压控制

  ◆ 气路系统 

 2路工艺气体+1路氮气配置,电子质量流量计、针阀,美国飞托克(FITOK)气体管路

 

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