厂商 仪器 试剂 服务 新闻 文章 视频 高级搜索
当前位置 > 产品目录 > 生物芯片 > 生物芯片处理 > 高低温探针台
按品牌选择
高低温探针台
高低温探针台
英文名称:cryogenics probe station总访问:2534
国产/进口:进口半年访问:268
产地/品牌:semishare产品类别:生物芯片处理
型       号:SCG系列最后更新:2018-9-21
货       号:
参考报价:
立即询价 电话咨询
[发表评论] [本类其他产品] [本类其他供应商] [收藏此产品]
销售商: 深圳市鑫志尚电子有限公司 查看该公司所有产品 >>
  • 产品介绍
  • 公司简介

低温和高温测试探针台
真空环境高低温测试技术
以下两个应用需要真空测试环境。
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与晶圆电极间会有相对位移,这是需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
SCG-4特点:
 载物Chuck 温度范围:4K-480K         
 外置4个定位针臂,预留2个 
 探针X-Y-Z三方向移动,行程:25mm,定位精度:10微米
 最多可以外置6个定位针臂
 载物chuck 最大可到2寸 
 双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度
 针臂定位精度可以升级为0.7微米
 极限真空到10-10 torr
 可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试 
 可以选择防震桌 
 可以选择超高真空腔体 
 客户订制

温控规格:   
控温范围4K-480K 
控温精度0.1K
温度稳定性4 K        + - 0.2 K 
77 K     + -  0.1 K
373 K    + - 0.08 K
473 K       + - 0.1 K
823 K       + - 0.2 K(可选)
973 K    + - 1.0K(可选)
常温到8K冷却时间:1小时40分钟
8K到常温升温时间:1小时30分钟
 从常温开始的升温时间           200 ℃      550℃      700 ℃
 (4 chuck,单位分:秒)1:00         1:30         2:00
电源直流
材质不锈钢
功率(4chuck) 850W 

       
机械规格                                
 针座行程
 X轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm 
 Y轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm 
 Z轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm 
移动精度
 X轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 Y轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 Z轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
<TD style="PADDING

bio-equip.com
售后服务
相关视频
资料下载
快速询价登录注册在线询价 (请留下您的联系方式,以便供应商联系您)
* 姓  名:
* 地  区:
单  位:
职  位:
* 手机/电话:
* E-mail:
请寄产品资料:
需要 不需要
请报价格:
需要报价 不需要报价
留  言:
验证码:
换一张
我希望获得多家供应商报价
发表评论在线评论(0条)
您最近浏览过的产品
Copyright(C) 1998-2018 中国生物器材网 电话:021-64166852;13621656896 E-mail:info@bio-equip.com